01

多模态表面缺陷检测仪

多模态表面缺陷检测仪(MMDI-2000),结合全口径缺陷快速识别与子孔径高灵敏度、高分辨率显微成像的检测方式,对表面缺陷尺度、位置、形态进行统计分析,并可结合使用光热弱吸收、显微成像等不同模态检测用户关注的缺陷区域,获取关注区域的缺陷信息;也可以利用微分干涉相衬显微成像技术,实现凸起和凹坑的区分。

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02

亚表面缺陷检测仪

亚表面缺陷检测仪(SSDI—2000 ),集成包括光学显微成像、激光共聚焦成像在内的多种检测模式,用于光学元件表面、亚表面缺陷的检测与分析,可在深度方向对样品进行分层检测。

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03

光学透反射率测量仪

光学透反射率测量仪(HTR-1000),主要用于光学元件的透射率、反射率测量,能够对反射率高达99.99%或透射率高达99.99%的光学元件的透/反特性进行高精度测量。主要针对小口径光学元件,能够快速、精确、高重复性的检测光学元件的透射/反射特性。

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04

大口径元件吸收缺陷检测仪

大口径元件吸收缺陷检测仪(PTM-2000-LA),基于光热扫描显微成像技术,适用于各类大口径固体表面及亚表面缺陷的检测和分析,特别是各类大口径光学薄膜、光学元器件表面及亚表面吸收缺陷的检测和分析。本系统是一款非接触式、高分辨率、全自动化检测仪器,可根据用户具体需求进行紫外、可见或红外波段的精密检测和分析。

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05

大口径元件散射缺陷检测仪

大口径元件散射缺陷检测仪(LSDI-2000-LA、LSDI-3000-C),适用于大口径光学材料、半导体材料和金属等材料抛光后的表面缺陷检测和分析。本设备是一款非接触式、全自动的检测仪器,能够快速检测待测表面的划痕、麻点、脏污等特性。

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06

大口径元件缺陷多模态检测仪

大口径元件缺陷多模态检测仪(MMDI-2000-LA),结合全口径缺陷快速识别与子孔径高灵敏度、高分辨率显微成像的检测方式,可利用激光散射对大口径光学元件进行全口径快速扫描成像,对缺陷尺度、位置、形态进行统计分析,并结合使用光热弱吸收、明场显微成像、暗场显微成像、激光共聚焦显微成像等不同模态检测用户关注缺陷区域,获得关注区域的缺陷信息。

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07

大口径元件高透/反射率测量仪

大口径元件高透/反射率测量仪(HTR-2000-LA),主要应用于光学元件的透射率、反射率测量,能够对反射率高达99.99%或透射率高达99.99%的光学元件的透/反特性进行高精度测量。能够适用于不同尺寸,特别是大口径尺寸的光学元件,并根据元件尺寸信息自动规划检测路径,满足客户对感兴趣区域的透射/反射特性检测。

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08

其他定制设备

可根据用户需求,提供各类定制化解决方案,包括光学、半导体等材料的表面、亚表面、体内缺陷检测,吸收率反射率、透射率等检测。

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